该厂为85英寸晶圆制作线整套搭配的超去离子水设备,时刻造成含硅重工业废水150吨。重工业废池里虽无血本属,但硅含氧量高易水垢,且功率电阻率需完成18MΩ·cm就能使用。增加了加工艺没办法符合新出台的《電子重工业水空气污染源排放物量条件》(GB39731-2020)越来越排放物量限制值。
废水处理工艺含量特性
首要环保问题物
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗料硅(孔径0.1-1μm)
比较特殊需求
:TOC<10μg/L,硼水分含量<5μg/L
饮用水质性质
:低电阻率(<50μS/cm)但硅氧化物结构复杂的
除理工序的流程
的创新按照"梯级膜拆分+电去阳离子"组合公式加工制作工艺 :
微滤预处里
:1μm瓷砖膜屏蔽短信大颗粒状硅,通量形成80LMH
亚铁离子变换不饱和树脂
:D201大孔树脂材料选定 性吸收硅酸原子核
二级考试RO软件系统
:第1 段利用率60%,第二步段选取高脱硼膜元器件
EDI电去铁离子
:功率容重2A/m²,一直避开残渣阳离子
紫外光除菌
:254nm太阳极为线的用药量40mJ/cm²
的技术新亮点
開發专属阻硅剂(巧妙胺类结合物),延长膜污染破坏阶段3倍
EDI板块特色化流道装修设计,硅清掉率不断提升至99.8%
上线硅研究分析仪器(预估空间0.1-500μg/L)构建会员精准营销抑制
使用举措
经然后方探测:
总硅从280mg/L降下来0.05mg/L
硼份量从8μg/L高于0.3μg/L
软件系统收集率从原40%提高至68%
膜拆换时期延迟至5年,年开机运行成本费用较低35%